연구실 설명

하이브리드박막공정연구실은 PVD, CVD, ALD 등의 첨단 기상 증착 기술을 활용하여 반도체, 전도성 고분자, 페로브스카이트, 금속-유기 구조체(MOF) 등 다양한 소재의 박막화를 연구하고 있습니다. 이러한 공정을 반도체 소자, 광센서, 가스센서, 바이오센서, 전고체전지 등 다양한 응용 분야에 적용하여, 우수한 안정성과 성능을 갖춘 소자를 개발하고 있으며, 새로운 기능을 통합한 혁신적인 소자의 제작을 목표로 하고 있습니다.

주요 연구분야

• 반도체 박막 공정
• CVD기반 고분자 박막 공정
• 박막 공정 기반 전고체전지 계면 제어
• 반도체식 광/가스/바이오 센서 제작

대표적 연구성과

• 백투백 다이오드 기반 적층형 광소자 제작 및 이를 통한 차량용 이미지센서 구현 Monolithic Perovskite–Silicon Dual-Band Photodetector for Efficient Spectral Light Discrimination, Advanced Science (2024)
• 광다이오드 기반 신개념 다기능 로직게이트 개념 최초 제시 Perovskite multifunctional logic gates via bipolar photoresponse of single photodetector, Nature Communications (2022)
• CVD기반 PEDOT 고분자 박막 제조 및 이를 통한 웨어러블 소자 구현 Binder-free printed PEDOT wearable sensors on everyday fabrics using oxidative chemical vapor deposition, Science Advances (2021)