연구실 소개

• 레이저 기반 정밀 가공 및 계측 기술 개발
- 정밀 가공 및 패터닝: 펨토초 레이저를 활용한 유연/다층 전자소자 및 광소자 가공, 레이저 유도 ALD/CVD 공정 기술 개발, 레이저 기반 3D 프린팅
- 정밀 계측: PDPT 기반 실시간 온도 측정, 반도체 및 디스플레이 패널 치수 계측, 원자/분자/바이오(가스, 입자 검출 등)의 분광 계측
• 레이저 스캐닝 시스템 및 정밀 광소자 개발
- 레이저 스캐닝 시스템: 2D/3D 레이저 스캐닝 시스템 구축 (스캐너, f-theta 렌즈, 대물렌즈, 실시간 공정 모니터링)
- 정밀 광소자: 플라즈모닉 고조파 발생, 고체 고조파 발생, 나노/마이크로 스케일 EUV/X-선 광원 및 EUV/X-선 빔 셰이핑
• 응용 분야: 수전해 장치 (PEMWE, AEMWE), 차세대 배터리, 태양열 증기발전, 미래모빌리티, 미래형운송기기, 반도체 공정